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Clean Dry Air Supply System CDASS

CDASS suministra aire seco, limpio y económico, con la humedad completamente eliminada, así como también NH₃, SOx, gases orgánicos y otros contaminantes gaseosos removidos.

(Números de patente: 3762138, 4334688, 4754358, 4990443, 5409279)

Sistema de Suministro de Aire Limpio con Punto de Rocío Ultra-Bajo: CDASS-100

Características

  • Suministra aire con punto de rocío ultra-bajo mediante rotores de deshumidificación en tres etapas conectadas en serie.
  • Suministra aire limpio y seco (CDA) con eliminación de polvo y contaminantes gaseosos inorgánicos, incluidos orgánicos y NOx, a una temperatura de punto de rocío de -100°C (8.7 wt ppb) o inferior.
  • Producción y suministro de CDA a bajo costo mediante rotor deshumidificador.
  • El costo operativo es de 1/5 a 1/10 en comparación con el aire comprimido (tipo conmutación por presión). A diferencia de los sistemas de gas nitrógeno, no existe riesgo de asfixia. Suministro de grandes volúmenes de CDA a 15–30 m³/min a presión atmosférica.

Visión general del sistema

Sistema portátil de suministro de aire limpio y seco: CDASS-mini

Características

  • Paquete todo en uno que incorpora el equipo de fuente de calor.
  • Produce y suministra CDA (aire limpio y seco) con solo conectarse a la alimentación eléctrica.
  • Utiliza un rotor deshumidificador con eficacia comprobada.
  • Costo reducido en comparación con el aire comprimido (tipo conmutación por presión).
  • Más económico y seguro que los sistemas de gas nitrógeno.

*El CDASS-mini se puede alquilar.

Ejemplos de uso

  • Suministro de aire al cojinete de aire para el transporte de sustratos en equipos de fabricación de dispositivos electrónicos.
  • Productos sensibles a la humedad o a la contaminación química presente en el aire.
  • Ideal como sustituto del gas nitrógeno en líneas de I+D y de prototipado.
  • Prevención de formación de neblina en retículas (reticle haze).
  • Prevención del empañamiento de lentes.
  • Prevención de la formación de películas de óxido natural en obleas (wafers).
  • Prevención de la adhesión de humedad dentro de dispositivos de vacío.
  • Líneas de producción de pantallas OLED (Organic EL).
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